日本ekusa 半導體用超純水加熱器EHS型
特征:
高純度、可靠性和可維護性
高純度產(chǎn)品 所有與液體接觸的部件均由PFA制成 無雜質洗脫 低溫加熱器,壽命長。 可與氫氟酸水一起使用。 可靠性 ● *大正常工作壓力為0.4MPa ● 無雜質洗脫 ● 低溫設計加熱器,壽命長 ● 可使用氫氟酸水 維護: - 使用低溫加熱器,因此壽命是半長久性的,無需更換加熱器。 - 結構緊湊,安裝簡便 - 可以遠程控制。
產(chǎn)品型號:EHS-1、EHS-2、EHS-3、EHS-4、EHS-5、EHS-6
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