RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗

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產品名稱: RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗

產品型號: EMF系列

產品廠商: 巖瀨商事

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗 EMF系列，是專為半導體行業(yè)開發(fā)的，用于供應純水和化學溶液。主回路采用非金屬材料，使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉接頭。

RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗 的詳細介紹

RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗 EMF系列

規(guī)格：

適用流體：純水、藥液、空氣、真空
*大壓力：-0.095～0.6MPa
*大通路：8
*大轉速：250min-1

主要途徑與其特點：

可以真空·干空氣·純水·研磨液等復數流體同時流動。
通常應用于CMP設備

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